更新招标~沈阳仪表科学研究院有限公司晶圆清洗机设备采购项目公开招标公告

招标编号:XDZH-2025YBHW-24

公告发布时间:2025年8月18日

1.招标条件本招标项目为品圆清洗机设备采购项目，招标人为沈阳仪表科学研究院有限公司，资金来源为国企自筹资金。该项目己具备招标条件，现对品圆清洗机设备采购项目进行公开招标。

2.项目概况与招标范围2.1 招标内容:晶圆清洗机1台;最高限价 130 万元。

2.2 主要技术要求

★2.2.1 本设备兼容 4/6 寸硅片:

★2.2.2包含8个槽，分别为4个化学液槽，4个去离子水槽:

★2.2.3 化学液槽分别为 SPM、DHF、SC1 和 SC2;

2.3 交货期:签订合同后 3.5个月内。

2.4 交货地点:沈阳市浑南区李巴彦路

3.投标人资格要求3.1 投标人应具有独立法人资格的制造商或代理商

3.2 制造商应具有相关产品的生产经验以及相应的业绩;3.3 代理商参与投标，必须提供制造商出具的授权函原件:

3.4 投标产品在其他客户端无安全事故记录;

3.5 本次招标 不接受 联合体投标。

4.招标文件的获取4.1获取时间:2025年8月19日9:00时至2025年8月25日16:00 时(北京时间),节假日除外。

4.1获取时间:2025年8月19日9:00 时至2025年8月25日 16:00 时(北京时间),节假日除外。

4.2 招标文件每套售价 500 元，售后不退。

4.3 招标文件获取方式:在获取时间内，通过电子邮件提交资格文件和获取招标文件。资格文件包括:营业执照、法人代表证明、法定代表人签署的委托代理人授权书等。

5.投标文件的递交5.1投标文件递交的截止时间为2025年9月9日9时 30 分前现场递交至(地址:沈阳市)。

5.2逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。

联系人：徐先生

手  机：185-1979-8781

邮 箱：zyzb66@126.com

注：邮件发送(公司名称+联系人电话+项目名称)获取登记表